DIN 50450-4-1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
作者:标准资料网 时间:2024-04-29 22:29:24 浏览:8984
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases;determinationofC-C-hydrocarbonsinnitrogenbygas-chromatography
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
【标准号】:DIN50450-4-1993
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1993-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;半导体工程;化学分析和试验;测定;体积;半导体;气相色谱法;含量;气体;载气;掺杂气体;试验;气相色谱仪;药液;试验设备;容积测量;氮;烃类;材料试验;掺杂剂;杂质;火焰电离检测器;材料;解释;半导体工艺;试样制备;半导
【英文主题词】:
【摘要】:ThisdocumentspecifiesamethodforthedeterminationofthevolumepartofC-C-hydrocarbonsinnitrogenintherangebetween0,2and10?l.#,,#
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
【标准号】:DIN50450-4-1993
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1993-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;半导体工程;化学分析和试验;测定;体积;半导体;气相色谱法;含量;气体;载气;掺杂气体;试验;气相色谱仪;药液;试验设备;容积测量;氮;烃类;材料试验;掺杂剂;杂质;火焰电离检测器;材料;解释;半导体工艺;试样制备;半导
【英文主题词】:
【摘要】:ThisdocumentspecifiesamethodforthedeterminationofthevolumepartofC-C-hydrocarbonsinnitrogenintherangebetween0,2and10?l.#,,#
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
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